HSC-D3812 是金狮贵宾会面向先进造程打造的新一代单片洗濯平台。其选取双层隔离架构、先进的多化学液处置能力,并具备最高20腔体的极致扩大性,可实现高达 1,000 wph 的产能,为客户提供全新的高效洗濯解决规划。
先进的单片洗濯平台, 利用于12英寸集成电路、先进封装和晶圆造作领域
矫捷的腔室数量配置,最大可配置20腔
每腔室最多同时配置5种药液,可实现2种药液回收
两层独立的洗濯腔室和传输系统,可实现分歧产品混合出产,无交叉传染
配置高速传送系统,最大产能1000片每幼时