Master-BT300是一款基于先进封装需要开发的12英寸晶圆边缘精密抛光建整设备，用于解决晶圆边缘崩边、毛刺、建整等问题。该设备集成高精度抛光、建整，高效洗濯和精准量测职能。同时该设备选取？榛杓，能够矫捷配置职能，满足HBM等先进封装领域晶圆边缘抛光建整要求。
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有效解决晶圆边缘崩边、毛刺等缺点
凭据客户工艺需要，将边缘建整成为特定描摹
高效的干净洗濯技术
高精怀抱测系统对抛光成效做在线检测和评价
