Master-P510APEX抛光设备是面向先进封装、玻璃基板等领域板级产品的高精度抛光设备,专为满足 510mm×515mm 规格板件的超平展化、低缺点抛光需要设计。双抛光头 + 双研磨盘配置,集成在线洗濯?橛肴远叩土舷低,配置翻转?,实现双面抛光需要?陕叫槐湓诵,满足全自动量产的需要。
多分区抛光头
集成多种先进终点检测技术
可实现产品干进干出
全自动高低料系统
配置产品翻转?,可实现双面抛光
满足自动化量产需要