Master-P510抛光设备是面向先进封装、玻璃基板等领域板级产品的高精度抛光设备 ，专为满足不大于510mm×515mm 规格板件的超平展化、低缺点抛光需要设计。单抛光头 ，单抛光盘设备守护成本低 ，工艺切换矫捷 ，无需复杂配套设备。
板级CMP设备
集成多种先进终点检测技术
可实现不大于510mm*515mm尺寸矩形产品兼容
