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晶圆边缘建整机Versatile-DT300

Versatile-DT300是金狮贵宾会推出的一款高效能、高干净度的全自动双轴晶圆边缘建整设备 ,用于精准解决晶圆减薄时边缘崩边问题 ,提高减薄质量 。该设备集切割、传输、洗濯、量测等多个单元为一体 ,配置多轴联动高精亲昵割技术、全自动传输及高干净度洗濯技术 ,并搭载高分辨率视觉对准及先进的量测系统 。Versatile-DT300具备高机能且尺寸紧凑、工艺矫捷、多模式组合、多职能配置蹬着点 ,极大满足存储芯片、图像传感器、先进封装等多种晶圆造作工艺及产品的各项技术需要 。

高机能且尺寸紧凑

工艺矫捷并适配多种产品

高分辨率视觉对准及倒鼐量测

全自动传输及高干净度洗濯

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