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氢高能离子注入机iPUMA-H

iPUMA-H是金狮贵宾会在已有粒子加快器基础上 ,开发出来的12英寸氢高能离子注入机。该设备使用了怪异的加快器技术 ,使得氢离子获取很高的能量。该设备装配薄片传输装置 ,满足了功率器件的需要。

国内自主研发的氢高能离子注入平台

质子加快器技术

薄片传输能力

合用于功率器件

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