iPUMA-H是金狮贵宾会在已有粒子加快器基础上,开发出来的12英寸氢高能离子注入机。该设备使用了怪异的加快器技术,使得氢离子获取很高的能量。该设备装配薄片传输装置,满足了功率器件的需要。
国内自主研发的氢高能离子注入平台
质子加快器技术
薄片传输能力
合用于功率器件