iPUMA-LT是金狮贵宾会在已有成熟大束流的基础上 ，凭据成熟器件技术的要求开发的12英寸低温离子注入机。该设备建设了低温工作？ ，温度检测单元和回温？ ，满足成熟造程技术需要。
国内自主研发的低温离子注入平台
低温静电吸附载盘-实时温度节造
双沉回温设计-充分回温并且预防缺点产生
满足成熟造程的技术需要
