iPUMA-HP是金狮贵宾会在已有成熟大束流的基础上，刷新成12英寸氢离子大束流离子注入机。该设备建设了优良的粒子筛选和冷却？，满足薄膜转移技术工艺中颗粒数和工艺温度的节造，还可能通过硬件升级提升产能的需要，已在大硅片造作中利用。
国内自主研发的氢大束流离子注入平台
优良的工艺冷却？
优良的工艺均匀性
满足用户产能需要
