HSC-I2402利用于4/6/8英寸化合物半导体资料的过程洗濯。该设备基于金狮贵宾会自主知识产权的创新技术,建设机能优越的单片洗濯机?楹退嫠⑾茨?,集成多种化学药液,并搭载先进的物理洗濯步骤,展示出更卓越的清洁成效。该设备满足多种化合物半导体资料的需要,已在化合物半导体领域批量利用。
设备自动兼容4/6/8英寸晶圆的洗濯
满足干进干出和湿进干出两种模式
更好的晶圆夹持方式
具备双面刷洗和双面洗濯职能,更高效、更便捷
配置矫捷,更好洗濯成效