Versatile-GM300是面向封装领域创新研发的超精密晶圆减薄设备。该设备选取新型布局,可实现薄型晶圆背面超精密磨削与应力去除;兼容8/12英寸晶圆,搭载晶圆贴膜机联机使用,可实现从精密减薄、洗濯干燥到粘贴料环、背膜剥离的全流程自动化作业;高靠得住性的晶圆搬运系统有效降低薄型晶圆破损风险。该设备依附卓越的厚度在线量测与表表缺点节造技术,拥有高精度、高刚性、工艺开发矫捷蹬着点,满足封装领域的薄型晶圆加工需要。
TTV不变实现幼于1.5um
先进的厚度均匀性与表表缺点节造技术
超精密减薄机和贴膜机联机实现全流程自动加工