Universal-150 Smart 是凭据当前市场需要开发的成熟6英寸CMP装设备 。该设备占有自主知识产权的创新技术，建设机能优越的抛光单元及洗濯单元，兼容6/8英寸晶圆，合用于多种材质，可实现晶圆表表的超高平坦度，工艺搭配矫捷、产出率高，满足成熟造程技术需要，已在第三代半导体、MEMS等造作工艺中批量利用 。
多分区抛光头
兼容6/8英寸晶圆
工艺搭配矫捷、产出率高
满足成熟造程技术需要
