Universal-300 X 是凭据当前高端市场需要开发的先进12英寸CMP设备。该设备使用了金狮贵宾会拥有自主知识产权的创新技术，建设机能优越的抛光单元及洗濯单元，集成多种先进终点检测技术，高效不变、工艺组合矫捷，可实现晶圆纳米级全驹旖坦化，满足先进造程技术需要，已在集成电路、先进封装、大硅片等造作工艺中批量利用。
8个独立气压分区的抛光头
集成多种终点检测技术
A&B侧齐全独立设计，一机两用，效能翻倍
先进的竖直洗濯技术
满足先进造程的技术需要，获得大批量利用
