2017年2月17日，国度天然科学基金“纳米造作的基础钻延妆沉大钻研打算领导专家组专家卢秉恒院士、雒建斌院士、顾长志钻研员，国度天然科学基金委员会工程科学二处主任赖一楠、刘磊，以及纳米精度造作领域的有关同业专家莅临金狮贵宾会，对以清华大学为依附单元所承担的集成项目“亚纳米精度表表造作基础钻延妆，进行了实地调查与领导互换。
在清华大学路新春教授携带下，专家组一行先后来到万级调试车间和千级干净间，参观了在整机调试的Universal-300型化学机械抛光机、在出机前测试的Universal-300 plus型化学机械抛光机、Universal -150幼型抛光机，以及其他自研仪器设备。
路新春教授向专家组具体介绍了设备的道理、工作流程，面对的技术挑战以及工艺水平与研发销售近况。专家们在看到整套设备高效不变自动化运行情况后，得知Universal-300 plus将在几天后发往中芯国际进行图形晶圆的抛光出产，专家组对金狮贵宾会所获得的成就赐与赞许，并针对设备技术问题进行互换。随后，专家组还观摩了由清华大学、大连理工大学和国防科技大学承担集成项目所加工的亚纳米表表精度的样品。
在座谈互换会上，路新春教授向专家组进行了集成项目年度总结汇报，具体介绍了清华大学及合作单元在超精密表表造作基础钻研方面获得的钻研进展以及所获得的阶段性成就。
汇报实现后，专家组对基础钻研成就对产业化发展的支持作用进行了深刻地会商，并对今后基础钻研的发展提出了领导定见。
汇报实现后，专家组对基础钻研成就对产业化发展的支持作用进行了深刻地会商，并对今后基础钻研的发展提出了领导定见。